Fotovoltaiske keramiske dyser er presisjons keramiske deler for gassdistribusjon og kjemisk sprøyting i fotovoltaisk produksjon. De brukes i CVD- og PECVD-utstyr, våt-etsesystemer og relaterte leveringsenheter der dysen er en del av prosessens-væskebane.

Kjernefordeler

±0,01 mm Boringsnøyaktighet

Boringsdiameternøyaktighet er ±0,01 mm. I en gass- eller væskedistribusjonsenhet med flere-dyser, reduserer kontroll av hver passasje til dette området variasjon mellom dyser og støtter mer konsistent strømning over arrayet.

Ra Mindre enn eller lik 0,2 μm indre overflate

Innvendig overflateruhet er Ra Mindre enn eller lik 0,2 μm. En jevnere vegg etterlater færre punkter for partikler eller kjemikalierester å samle seg inne i trange passasjer, noe som bidrar til å bremse gradvis begrensning av strømningsbanen.

Varm og etsende prosesskonvolutt

Maksimal arbeidstemperatur er 1200 grader eller 1500 grader avhengig av valgt keramikk, og dysene er spesifisert for å motstå de fleste sure og alkaliske gasser. Materialvalg kan derfor baseres på både driftstemperatur og prosessmediet.

Tilpasning

Materiale

Materialvalg er 99% alumina og silisiumkarbid.

Lengde og monteringsgrensesnitt

Totallengde lages etter kundetegning. Skuldre, flenser, monteringshull og andre lokaliseringsdetaljer kan legges til for å matche utstyrsgrensesnittet.

Utløp og strømningsgeometri

Den godkjente tegningen eller prototypen kan definere boringsoppsett, utløpsretning, spraygeometri og konfigurasjoner med flere-hull.

Spesifikasjoner

Parameter	Spesifikasjon
Materialtyper	99% alumina, silisiumkarbid
Nøyaktighet i borediameter	±0,01 mm
Innvendig overflateruhet (Ra)	Mindre enn eller lik 0,2μm
Dyselengde	Per kunde tegning
Maks. Arbeidstemperatur	1200 grader (Alumina) / 1500 grader (silisiumkarbid)
Korrosjonsbestandighet	Motstår de fleste sure og alkaliske gasser

Kvalitetskontroll

Borestørrelsen kontrolleres etter bearbeiding. Den innvendige passasjen inspiseres også for blokkering, kantskader og overflateforhold før dysen flyttes til funksjonsverifisering.

Flowtesting bekrefter at den ferdige passasjen er åpen og gir en konsistent kanal. Utvendige mål, monteringsdetaljer og tetnings- eller plasseringsflater kontrolleres separat mot tegningen.

Før pakking kontrolleres dysene for utseende, akseptert mengde og renhet. Inspeksjonspostene forblir med partiet, tredjepartsinspeksjon kan ordnes, og dysespisser og presisjonsflater er atskilt i pakken.